製品一覧
ITOターゲット
特徴
当社は独自のスラリー形成技術(平板形-MMF法) (円筒形-CIP法)により、様々な形状・サイズの高密度化を実現。ご使用時のノジュール、パーティクルの低減をお約束致します。また成膜後の熱処理が出来ないタッチパネル用途としても、お客様のニーズに合ったカスタマイズ製品を提供致します。
IGZOターゲット
特徴
中小型FPDパネルの高精細、低消費電力を実現する酸化物半導体用途で日増しに注目を浴びるIGZO。当社はノジュール、パーティクル等の低減に効果のある大型品や、様々な組成のターゲットが提供可能です。
新形状ー円筒形ターゲット
特徴
ターゲットの形状は、従来までプレーナー(平板)タイプが一般的でしたが、スパッタリング装置が近年ロータリータイプ(円筒形)のターゲットを採用可能とした事で、当社も逸早く量産化を行い、お客様の工程改善等に貢献しています。
その他製品
特徴
その他にも太陽電池、建材、半導体関連の用途等で、お客様のニーズにあった、あらゆるターゲットの開発・製造を行ってまいります。当該ホームページに未掲載の材料につきましても、是非ご相談下さい。