SiC基板用研磨材（NANOBIX™）

  • 特徴
  • ・パワーデバイス用材料として注目されている炭化ケイ素（SiC）単結晶は
    　非常に硬い材料であることから、この表面を原子レベルまで平滑にする
    　には優れた研磨技術および長時間の研磨が必要でした。

    ・当社では、これまで培ってきた研磨材料開発の技術を活かし、SiC表面を
    　極めて平滑に、かつ短時間で加工できる研磨材料の開発に成功しました。