SiC基板用研摩材(NANOBIX™)

  • 特徴
  • ・パワーデバイス用材料として注目されている炭化ケイ素(SiC)単結晶は
     非常に硬い材料であることから、この表面を原子レベルまで平滑にする
     には優れた研摩技術および長時間の研摩が必要でした。

    ・当社では、これまで培ってきた研摩材料開発の技術を活かし、SiC表面を
     極めて平滑に、かつ短時間で加工できる研摩材料の開発に成功しました。